PI(Physik Instrumente)六軸精密壓電平臺(tái)

：PI(Physik Instrumente)
公司簡(jiǎn)介：
   德國(guó)PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器，用于線(xiàn)性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶(hù)特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造
醫(yī)學(xué)工程
生物技術(shù)
工廠(chǎng)工程
表面計(jì)量
天文學(xué)

產(chǎn)品系列：
納米定位壓電彎曲平臺(tái)

微型平臺(tái)

線(xiàn)性平臺(tái)

線(xiàn)性執(zhí)行器

旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

XY位移平臺(tái)

六足位移臺(tái)

設(shè)計(jì)系統(tǒng)

快速多通道光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)

P-587 六軸精密壓電平臺(tái)

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線(xiàn)性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來(lái)gao線(xiàn)性度

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 六 自由度主動(dòng)補(bǔ)償

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 干涉測(cè)量

§ 計(jì)量

§ 納米壓印

§ 半導(dǎo)體測(cè)試

§ 半導(dǎo)體制造

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。

PI(Physik Instrumente)六軸精密壓電平臺(tái)