PI(Physik Instrumente)納米定位器

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或

提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品應用領域：
半導體制造
醫(yī)學工程
生物技術
工廠工程
表面計量
天文學

P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上 線性定位器，真空兼容達10-9百帕

P-733.2VL 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕

PI(Physik Instrumente)納米定位器

·         X和Y向上的行程達100微米×100微米

·         電容式傳感器使分辨率達0.1納米

·         帶直接驅動器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)

·         導向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃?/span>

·         零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)

·         50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應用

PI(Physik Instrumente)納米定位器